과산화수소(H2O2) 분석기

Unleashing potential across industries

급하게 변하는 산업 환경에서 정확성과 신뢰성은 이제 필수입니다.

AeroLaser AL2021SC / SCL H₂O₂ 분석기는 가스 및 액체 시료의 과산화수소(H₂O₂)를 초저농도 구간(ppb~µg/L)에서도 정확하게 측정할 수 있는 유일한 연속 분석기입니다.
Peroxidase 기반 형광 검출 기술을 적용하여 선택성·정확성·안정성을 극대화하였으며, UPW 공정부터 제약·살균·실험실까지 다양한 산업에서 활용 가능합니다.

1) Peroxidase–형광 검출 방식(Fluorimetric) - H₂O₂ 존재 시만 발생하는 선택적 반응

H₂O₂는 Peroxidase–PHPA(시약) 반응을 통해 형광을 내는 물질로 변환됩니다.
변환된 형광 강도를 PMT(광전자증배관)가 정밀하게 측정하여 초저농도(ppb~ng/L)의 H₂O₂를 안정적으로 검출합니다.

2) 높은 선택성(Interference-Free Detection) - 오존, NO₂, 유기화합물 등 간섭 없음

오존, NO₂, 유기 화합물 등 일반적으로 간섭을 일으키는 물질의 영향이 거의 없어 H₂O₂만 선택적으로 측정할 수 있습니다
AeroLaser의 형광 기반 방식은 일반적으로 간섭이 큰
- O₃ (1:3500 수준)
- NO₂ (1:8000 수준)
- SO₂, formaldehyde, toluene, methanol 등

에서 사실상 간섭 없이 H₂O₂만 선택적으로 측정합니다.

3) Dual-Channel Catalase 시스템 (SCL 전용) - 세계적으로 독보적인 H₂O₂ 전용 선택 구조

Dual-Channel 구조는 H₂O₂ 분석의 결정적 강점입니다.
- Channel A: H₂O₂ + 유기 퍼옥사이드 전체 반응
- Channel B: Catalase로 H₂O₂만 분해 → 유기 퍼옥사이드만 반응
- 두 채널의 difference = 순수 H₂O₂ 농도

즉, 공정수 내 모든 퍼옥사이드 중에서 오직 H₂O₂만 분리·정량 가능.

4) 자동 교정 기능 - 액체 표준용액 기반의 자동화된 교정

액체 표준용액을 이용한 자동 교정 기능으로 장시간 사용하는 공정에서도 높은 재현성과 안정성을 유지합니다.
시료 라인 오염이나 반응계 변화 등을 자동 보정
장시간 연속 운전에서도 재현성과 장비 안정성 유지
사용자가 직접 교정 곡선을 쉽게 관리 가능

Application : Pharma

무균성은 의약품과 백신 충전 과정에서 중요한 요소이며, 아이솔레이터는 H2O2를 이용해 오염을 제거하고 농도를 조절하여 무균성을 유지합니다. 그러나 백신이나 효소는 H2O2 농도가 20~50ppb 이상일 경우 손상될 위험이 있어 농도 측정이 중요합니다. 기존 전기화학 센서는 1ppm까지 측정이 가능했으나, AL2021SC는 1ppb 이하에서 최대 2ppm까지 정확하게 측정할 수 있어 자산 보호에 효과적입니다.

Principle	Enzymatic Reaction (Peroxidase)
Measurement Range	0.1...3000 ppb (Gaseous) 100ng/L...3mg/L (Liquid)
Limit of Detection	< 100 ppt (Gaseous) < 100 ng/L eq. <2×10-9 molar (Liquid)
Noise	2% Full Scale
Time Resolution	~ 90sec (10/90)
Calibration	Automatic, using Liquid Standard
Sample	Liquid and Gas
Display	Graphic User Interface (7“ Touch Panel) and remote via RS232/ LAN
Serial Interface	RS232 and LAN interface, Data Logging Software available
Data Storage	USB Drive and Internal Data Backup
Electrical Supply	110 VAC / 220 VAC, 110 W, 24 VDC on request
Dimensions	450 × 150 × 560 mm , fit for 19“ Rack
Weight	15 kg

Application	UPW, 살균제 (H2O2)
Parameter	Hydrogen peroxide
Measurement Range	0.1...3000ppb (gaseous), 100ng/liter - 3mg/liter (liquid)
Limit of Detection	<100ppt (gaseous), <100ng/L eg. <2×10‑9 molar (liquid)
Linear Range	0.1ppb to 3000ppb (gaseous), 100ng/L ‑ 3mg/L (liquid)
Noise	2% full scale
Time Resolution	∼90sec (10/90)
Sample	Liquid and gas
Calibration	Automatic, using liquid standard

제품 소개

AL2021SC / AL2021SCL

Application : UPW

UV 처리 중 총 유기탄소(TOC)가 분해되면서 OH 라디칼이 재결합되면서 H2O2가 생성됩니다. 이렇게 생산된 H2O2의 농도가 10μg/L 미만이어도 웨이퍼 표면과 전도 경로를 부식시킬 수 있습니다.

Application : Pharma

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AL2021SC / AL2021SCL

Application : UPW

UV 처리 중 총 유기탄소(TOC)가 분해되면서 OH 라디칼이 재결합되면서 H2O2가 생성됩니다. 이렇게 생산된 H2O2의 농도가 10μg/L 미만이어도 웨이퍼 표면과 전도 경로를 부식시킬 수 있습니다.

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